Füüsika instituudi teadusaparatuur

Analüütiline läbivalgustav elektronmikroskoop (HR-TEM) FEI Titan Themis 200
Elektronkiire modulaator Raith Elphy Quantum, ühendatud FEI Helios NanoLab 600 skaneeriva elektronmikroskoobiga, võimaldades fokuseeritud ioonkiire abil tahkete nano-objektide ristlõigete prepareerimist koos nende objektide visualiseerimisega. Samuti on võimalik sama seadme abil üliõhukestest objektidest n.-ö. lamellide valmistamine enne HR-TEM analüüse.
Maskivaba fotolitograafia seade Heidelberg Instruments μMLA
Mikromehaaniline tester Bruker Hysitron TI 980 TriboIndenter nn nanoindenteerimise võimaldamiseks. Saab mõõta nii ca. 50-5000 nm paksusvahemikus tahkiskihtide kui ka massiivsete objektide pindade mehhaanilist kõvadust ning elastsust.
Profilomeeter Bruker DektakXT Stylus Profiler
Kontakteerimisseade 53XX BDA
Skraibeerimsseade 53xxBDA (F&S Bondtec Semiconductor GmbH)

Rohkem infot: Arvi Freiberg (arvi.freiberg@ut.ee)

Plasmaergastusega aatomkihtadestamise reaktor PicosunTM R-200 (Picosun)
Keemilise aurufaasi sadestamise (CVD, chemical vapor deposition) seade, ehitatud grafeeni sadestamiseks
Metall- ja mittemetallkilede füüsikalise aurufaassadestamise (PVD, physical vapor deposition) seadmed: elektronkiiraurustus (electron beam evaporation, EBE), termiline aurustus (thermal evaporation), magnetrontolmutamine (magnetron sputtering)
Röntgendifraktomeeter SmartLab (Rigaku), koos võimekusega kindlaks teha ja mõõta libiseva ja pindkihis difrageeruva (GIXRD, grazing incidence X-Ray diffraction) või kihilt peegelduva (XRR, X-ray reflection röntgenkiire detekteerimise rezhiimides ka väga õhukeste (5-50 nm paksuste) tahkiskihtide struktuuri, paksust, tihedust ja pinnakaredust
Sondijaam Cascade Microtech MPS150 koos mõõtekambriga (Beaverton), mõeldud tahkiskihtide elektrilise käitumise karakteriseerimiseks, sh. juhtivus, elektritakistus, dielektriline läbitavus, dielektriline dispersioon (mahtuvus-sagedus sõltuvused
Röntgenfluorestsentsspektromeeter ZSX (Rigaku), tahkismaterjalide esmase keemilise koostise määramiseks
Spektroskoopiline ellipsomeeter GES-5E (Semilab), õhukeste tahkiskihtide paksuse, tiheduse ja optilise murdumisnäitaja mõõtmisteks.

Rohkem infot: Kaupo Kukli (kaupo.kukli@ut.ee)

Rohkem infot: Rünno Lõhmus (runno.lohmus@ut.ee)

Rohkem infot: Sven Lange (sven.lange@ut.ee)

Gammaspektromeetrid BSI, Canberra, Ortec E&G
Alfaspektromeeter Canberra 7410
Vedelikstsintillatsiooniloendur Perkin Elmer Quantulus 1220
Vedelikstsintillatsiooniloendur Hidex Triatler
Portatiivne radoonimonitor Studsvik Instrument
PSM - aerosoolispektromeeter
OPS 3330 - optiline aerosooli spektromeeter
APS 3321 - aerodünaamiline aerosooli spektromeeter
LAS 3340 - laseriga aerosooli spektromeeter
NAIS - neutraalsete klastrite ja õhuioonide spektromeeter
EAS - elektriline aerosooli spektromeeter
CIC - klasterioonide loendur
FMPS - aerosoolispektromeeter
SMPS - skaneeriv aerosooli spektromeeter
NO3-CI-APiTOF - keemilise laaduriga massispektromeeter
Thermo Scientific ja Los Gatos Research gaasianalüsaatorid (SO2, NOx, O3, süsivesinikud - THC, H2S, CO2, CH4, H2O)
Elektrivälja mõõtur CS110