Füüsika instituudi teadusaparatuur
Namur+
- Analüütiline läbivalgustav elektronmikroskoop (HR-TEM) FEI Titan Themis 200
- Elektronkiire modulaator Raith Elphy Quantum, ühendatud FEI Helios NanoLab 600 skaneeriva elektronmikroskoobiga, võimaldades fokuseeritud ioonkiire abil tahkete nano-objektide ristlõigete prepareerimist koos nende objektide visualiseerimisega. Samuti on võimalik sama seadme abil üliõhukestest objektidest n.-ö. lamellide valmistamine enne HR-TEM analüüse.
- Maskivaba fotolitograafia seade Heidelberg Instruments μMLA
- Mikromehaaniline tester Bruker Hysitron TI 980 TriboIndenter nn nanoindenteerimise võimaldamiseks. Saab mõõta nii ca. 50-5000 nm paksusvahemikus tahkiskihtide kui ka massiivsete objektide pindade mehhaanilist kõvadust ning elastsust.
- Profilomeeter Bruker DektakXT Stylus Profiler
- Kontakteerimisseade 53XX BDA
- Skraibeerimsseade 53xxBDA (F&S Bondtec Semiconductor GmbH)
Rohkem infot: https://namurplus.ut.ee/node/19442
Biofüüsika labor
- Pikosekundilise ajalise lahutusega fluorestsentsspektrokronograaf
- Selektiivspektroskoopia katseseade
- Mikrospektroskoopia kompleks
- Tsirkulaarse dikroismi (CD) spektromeetria
Rohkem infot: Arvi Freiberg (arvi.freiberg@ut.ee)
https://fi.ut.ee/et/sisu/biofuusika-labor
Kiletehnoloogia labor
- Plasmaergastusega aatomkihtadestamise reaktor PicosunTM R-200 (Picosun)
- Keemilise aurufaasi sadestamise (CVD, chemical vapor deposition) seade, ehitatud grafeeni sadestamiseks
- Metall- ja mittemetallkilede füüsikalise aurufaassadestamise (PVD, physical vapor deposition) seadmed: elektronkiiraurustus (electron beam evaporation, EBE), termiline aurustus (thermal evaporation), magnetrontolmutamine (magnetron sputtering)
- Röntgendifraktomeeter SmartLab (Rigaku), koos võimekusega kindlaks teha ja mõõta libiseva ja pindkihis difrageeruva (GIXRD, grazing incidence X-Ray diffraction) või kihilt peegelduva (XRR, X-ray reflection röntgenkiire detekteerimise rezhiimides ka väga õhukeste (5-50 nm paksuste) tahkiskihtide struktuuri, paksust, tihedust ja pinnakaredust
- Sondijaam Cascade Microtech MPS150 koos mõõtekambriga (Beaverton), mõeldud tahkiskihtide elektrilise käitumise karakteriseerimiseks, sh. juhtivus, elektritakistus, dielektriline läbitavus, dielektriline dispersioon (mahtuvus-sagedus sõltuvused
- Röntgenfluorestsentsspektromeeter ZSX (Rigaku), tahkismaterjalide esmase keemilise koostise määramiseks
- Spektroskoopiline ellipsomeeter GES-5E (Semilab), õhukeste tahkiskihtide paksuse, tiheduse ja optilise murdumisnäitaja mõõtmisteks.
Rohkem infot: Kaupo Kukli (kaupo.kukli@ut.ee)
https://fi.ut.ee/et/sisu/kiletehnoloogia-labor-0
Nanostruktuuride füüsika labor
- Skaneeriv elektronmikroskoop Nova NanoSEM 450 (FEI)
- Skaneeriv elektronmikroskoop Vega II SBU (Tescan)
- Aatomjõumikroskoop Dimension Edge (Veeco)
- Lihvimismasin Buehler Beta Grinder Polisher
Rohkem infot: Rünno Lõhmus (runno.lohmus@ut.ee)
https://fi.ut.ee/et/sisu/nanostruktuuride-fuusika-labor
Laserspektroskoopia labor
- Renishaw MikroRaman spektromeeter
- Spektrofotomeeter Jasco V-570
- Spektrofluorimeeter FluoroMax-4P
Rohkem infot: Sven Lange (sven.lange@ut.ee)
Keskkonnafüüsika labor
- Gammaspektromeetrid BSI, Canberra, Ortec E&G
- Alfaspektromeeter Canberra 7410
- Vedelikstsintillatsiooniloendur Perkin Elmer Quantulus 1220
- Vedelikstsintillatsiooniloendur Hidex Triatler
- Portatiivne radoonimonitor Studsvik Instrument
- PSM - aerosoolispektromeeter
- OPS 3330 - optiline aerosooli spektromeeter
- APS 3321 - aerodünaamiline aerosooli spektromeeter
- LAS 3340 - laseriga aerosooli spektromeeter
- NAIS - neutraalsete klastrite ja õhuioonide spektromeeter
- EAS - elektriline aerosooli spektromeeter
- CIC - klasterioonide loendur
- FMPS - aerosoolispektromeeter
- SMPS - skaneeriv aerosooli spektromeeter
- NO3-CI-APiTOF - keemilise laaduriga massispektromeeter
- Thermo Scientific ja Los Gatos Research gaasianalüsaatorid (SO2, NOx, O3, süsivesinikud - THC, H2S, CO2, CH4, H2O)
- Elektrivälja mõõtur CS110
Rohkem infot: Heikki Junninen (heikki.junninen@ut.ee)
https://fi.ut.ee/et/sisu/keskkonnafuusika-labor
Röntgenspektroskoopia labor
- Fotoelektronspektroskoopia (XPS) uuringute kompleks
- UV-Vis spektromeeter Cary 5000
- FTIR spektromeeter Vertex 70
- DLS mõõteseade Malvern Zetasizer Nano ZSP
- Kliimakapp Memmert CTC 256
Rohkem infot: Vambola Kisand (vambola.kisand@ut.ee)
https://fi.ut.ee/et/sisu/rontgenspektroskoopia-labor
Sensortehnoloogiate labor
- Elektriliste ja optiliste gaasisensorite mõõtekompleks
- Impulss-lasersadestusseade (PLD - pulsed laser deposition)
Rohkem infot: Raivo Jaaniso (raivo.jaaniso@ut.ee)
