Füüsika instituudi teadusaparatuur

Namur+

• Analüütiline läbivalgustav elektronmikroskoop (HR-TEM) FEI Titan Themis 200
• Elektronkiire modulaator Raith Elphy Quantum, ühendatud FEI Helios NanoLab 600 skaneeriva elektronmikroskoobiga, võimaldades fokuseeritud ioonkiire abil tahkete nano-objektide ristlõigete prepareerimist koos nende objektide visualiseerimisega. Samuti on võimalik sama seadme abil üliõhukestest objektidest n.-ö. lamellide valmistamine enne HR-TEM analüüse.
• Maskivaba fotolitograafia seade Heidelberg Instruments μMLA
• Mikromehaaniline tester Bruker Hysitron TI 980 TriboIndenter nn nanoindenteerimise võimaldamiseks. Saab mõõta nii ca. 50-5000 nm paksusvahemikus tahkiskihtide kui ka massiivsete objektide pindade mehhaanilist kõvadust ning elastsust.
• Profilomeeter Bruker DektakXT Stylus Profiler
• Kontakteerimisseade 53XX BDA
• Skraibeerimsseade 53xxBDA (F&S Bondtec Semiconductor GmbH)

Rohkem infot: https://namurplus.ut.ee/node/19442

Biofüüsika labor

• Pikosekundilise ajalise lahutusega fluorestsentsspektrokronograaf
• Selektiivspektroskoopia katseseade
• Mikrospektroskoopia kompleks
• Tsirkulaarse dikroismi (CD) spektromeetria

Rohkem infot: Arvi Freiberg (arvi.freiberg@ut.ee)

https://fi.ut.ee/et/sisu/biofuusika-labor

Kiletehnoloogia labor

• Plasmaergastusega aatomkihtadestamise reaktor PicosunTM R-200 (Picosun)
• Keemilise aurufaasi sadestamise (CVD, chemical vapor deposition) seade, ehitatud grafeeni sadestamiseks
• Metall- ja mittemetallkilede füüsikalise aurufaassadestamise (PVD, physical vapor deposition) seadmed: elektronkiiraurustus (electron beam evaporation, EBE), termiline aurustus (thermal evaporation), magnetrontolmutamine (magnetron sputtering)
• Röntgendifraktomeeter SmartLab (Rigaku), koos võimekusega kindlaks teha ja mõõta libiseva ja pindkihis difrageeruva (GIXRD, grazing incidence X-Ray diffraction) või kihilt peegelduva (XRR, X-ray reflection röntgenkiire detekteerimise rezhiimides ka väga õhukeste (5-50 nm paksuste) tahkiskihtide struktuuri, paksust, tihedust ja pinnakaredust
• Sondijaam Cascade Microtech MPS150 koos mõõtekambriga (Beaverton), mõeldud tahkiskihtide elektrilise käitumise karakteriseerimiseks, sh. juhtivus, elektritakistus, dielektriline läbitavus, dielektriline dispersioon (mahtuvus-sagedus sõltuvused
• Röntgenfluorestsentsspektromeeter ZSX (Rigaku), tahkismaterjalide esmase keemilise koostise määramiseks
• Spektroskoopiline ellipsomeeter GES-5E (Semilab), õhukeste tahkiskihtide paksuse, tiheduse ja optilise murdumisnäitaja mõõtmisteks.

Rohkem infot: Kaupo Kukli (kaupo.kukli@ut.ee)

https://fi.ut.ee/et/sisu/kiletehnoloogia-labor-0

Nanostruktuuride füüsika labor

• Skaneeriv elektronmikroskoop Nova NanoSEM 450 (FEI)
• Skaneeriv elektronmikroskoop Vega II SBU (Tescan)
• Aatomjõumikroskoop Dimension Edge (Veeco)
• Lihvimismasin Buehler Beta Grinder Polisher

Rohkem infot: Rünno Lõhmus (runno.lohmus@ut.ee)

https://fi.ut.ee/et/sisu/nanostruktuuride-fuusika-labor

Laserspektroskoopia labor

• Renishaw MikroRaman spektromeeter
• Spektrofotomeeter Jasco V-570
• Spektrofluorimeeter FluoroMax-4P

Rohkem infot: Sven Lange (sven.lange@ut.ee)

Keskkonnafüüsika labor

• Gammaspektromeetrid BSI, Canberra, Ortec E&G
• Alfaspektromeeter Canberra 7410
• Vedelikstsintillatsiooniloendur Perkin Elmer Quantulus 1220
• Vedelikstsintillatsiooniloendur Hidex Triatler
• Portatiivne radoonimonitor Studsvik Instrument
• PSM - aerosoolispektromeeter
• OPS 3330 - optiline aerosooli spektromeeter
• APS 3321 - aerodünaamiline aerosooli spektromeeter 
• LAS 3340 - laseriga aerosooli spektromeeter
• NAIS - neutraalsete klastrite ja õhuioonide spektromeeter
• EAS - elektriline aerosooli spektromeeter
• CIC - klasterioonide loendur
• FMPS - aerosoolispektromeeter
• SMPS - skaneeriv aerosooli spektromeeter
• NO3-CI-APiTOF - keemilise laaduriga massispektromeeter
• Thermo Scientific ja Los Gatos Research gaasianalüsaatorid (SO2, NOx, O3, süsivesinikud - THC, H2S, CO2, CH4, H2O)
• Elektrivälja mõõtur CS110

Rohkem infot: Heikki Junninen (heikki.junninen@ut.ee)

https://fi.ut.ee/et/sisu/keskkonnafuusika-labor

Röntgenspektroskoopia labor

• Fotoelektronspektroskoopia (XPS) uuringute kompleks
• UV-Vis spektromeeter Cary 5000
• FTIR spektromeeter Vertex 70
• DLS mõõteseade Malvern Zetasizer Nano ZSP
• Kliimakapp Memmert CTC 256

Rohkem infot: Vambola Kisand (vambola.kisand@ut.ee)

https://fi.ut.ee/et/sisu/rontgenspektroskoopia-labor

Sensortehnoloogiate labor

• Elektriliste ja optiliste gaasisensorite mõõtekompleks
• Impulss-lasersadestusseade (PLD - pulsed laser deposition)

Rohkem infot: Raivo Jaaniso (raivo.jaaniso@ut.ee)

https://fi.ut.ee/et/sisu/sensortehnoloogiate-labor