Skip to main content

Kiletehnoloogia labor

Kiletehnoloogia labor tegeleb õhukeste ja üliõhukeste materjalikihtide (tahkisekilede) valmistamiseks ja uurimiseks sobivate meetodite väljatöötamise ja täiustamisega, nende meetodite rakendamisega ning üliõpilaste koolitamisega selles valdkonnas. Uuritavate materjalide kasutusalad ulatuvad korrosioonivastastest pinnakatetest mikro- ja nanoelektroonikani.

Labori töötajate käsutuses on aparatuur tahkiskilede valmistamiseks elektronkiirega aurustamise, magnetrontolmustamise ja aatomkihtsadestamise meetodil, samuti grafeeni valmistamiseks keemilise aurufaassadestamisega. Kasutada on vahendid tahkisekilede moodustumise jälgimiseks reaalajas. Materjalide omadusi on laboris võimalik uurida röntgendifraktsiooni, röntgenpeegelduse, röntgenfluorestsentsi, elektronmikroskoopia, elektronsond-mikroanalüüsi, spektroskoopilise ellipsomeetria ja teravikmikroskoopia meetoditel. Samuti on kasutada elektriliste omaduste ja gaasitundlikkuse mõõtmise aparatuur.

Kiletehnoloogia laboris on

  • töötatud välja uudsed meetodid aatomkihtsadestamise protsesside reaalajaliseks jälgimiseks,
  • arendatud edasi tehnoloogiaid efektiivsete korrosioonivastaste pinnakatete valmistamiseks,
  • võetud kasutusele uudsed meetodid suure dielektrilise läbitavusega dielektrikukilede valmistamiseks nanoelektroonika seadmete jaoks,
  • juurutatud keemilise aurufaassadestamise meetod grafeeni valmistamiseks.
Image
#teadus
Salatit sööma

Värske teadus: söömisest, suguhaigustest, zoosemiootikast ja sademetest

Jaga
19.01.2022
#teadus

Nanostruktuuride füüsika labor

Nanostruktuuride füüsika labor (NSL) on oma uurimis- ja õppetöös spetsialiseerunud materjaliteadusele ja madaladimensionaalsete struktuuride füüsikale ning nende rakendustele.

Jaga
20.12.2021
#teadus

Neutronhajumise töörühm

Töörühm kasutab biomolekulide ja membraanide struktuuri ja dünaamika uurimiseks erinevaid neutronhajumise meetodeid, näiteks väikese nurga hajumine, neutronspektroskoopia ja difraktsioon.

Jaga
16.12.2021