Skip to main content

Kiletehnoloogia labor

Kiletehnoloogia labor tegeleb õhukeste ja üliõhukeste materjalikihtide (tahkisekilede) valmistamiseks ja uurimiseks sobivate meetodite väljatöötamise ja täiustamisega, nende meetodite rakendamisega ning üliõpilaste koolitamisega selles valdkonnas. Uuritavate materjalide kasutusalad ulatuvad korrosioonivastastest pinnakatetest mikro- ja nanoelektroonikani.

Labori töötajate käsutuses on aparatuur tahkiskilede valmistamiseks elektronkiirega aurustamise, magnetrontolmustamise ja aatomkihtsadestamise meetodil, samuti grafeeni valmistamiseks keemilise aurufaassadestamisega. Kasutada on vahendid tahkisekilede moodustumise jälgimiseks reaalajas. Materjalide omadusi on laboris võimalik uurida röntgendifraktsiooni, röntgenpeegelduse, röntgenfluorestsentsi, elektronmikroskoopia, elektronsond-mikroanalüüsi, spektroskoopilise ellipsomeetria ja teravikmikroskoopia meetoditel. Samuti on kasutada elektriliste omaduste ja gaasitundlikkuse mõõtmise aparatuur.

Kiletehnoloogia laboris on

  • töötatud välja uudsed meetodid aatomkihtsadestamise protsesside reaalajaliseks jälgimiseks,
  • arendatud edasi tehnoloogiaid efektiivsete korrosioonivastaste pinnakatete valmistamiseks,
  • võetud kasutusele uudsed meetodid suure dielektrilise läbitavusega dielektrikukilede valmistamiseks nanoelektroonika seadmete jaoks,
  • juurutatud keemilise aurufaassadestamise meetod grafeeni valmistamiseks.
Image
#rahvusvaheline #teadus
DEMO elektrijaam

EUROfusioni konsortsium alustab tuumasünteesil põhineva näidiselektrijaama loomist

Jaga
05.07.2022
#teadus
Pilt Tartu Ülikooli Physicumi fuajeest_Foto autor Andero Kalju

Tartu Ülikool asub suurendama kliimateadlikkust

Jaga
14.06.2022
#teadus
Soo

Soogaaside mõju kliimale on arvatust keerulisem

Jaga
13.06.2022