Kiletehnoloogia labor

Kiletehnoloogia labor tegeleb õhukeste ja üliõhukeste materjalikihtide (tahkisekilede) valmistamiseks ja uurimiseks sobivate meetodite väljatöötamise ja täiustamisega, nende meetodite rakendamisega ning üliõpilaste koolitamisega selles valdkonnas. Uuritavate materjalide kasutusalad ulatuvad korrosioonivastastest pinnakatetest mikro- ja nanoelektroonikani.

Labori töötajate käsutuses on aparatuur tahkiskilede valmistamiseks elektronkiirega aurustamise, magnetrontolmustamise ja aatomkihtsadestamise meetodil, samuti grafeeni valmistamiseks keemilise aurufaassadestamisega. Kasutada on vahendid tahkisekilede moodustumise jälgimiseks reaalajas. Materjalide omadusi on laboris võimalik uurida röntgendifraktsiooni, röntgenpeegelduse, röntgenfluorestsentsi, elektronmikroskoopia, elektronsond-mikroanalüüsi, spektroskoopilise ellipsomeetria ja teravikmikroskoopia meetoditel. Samuti on kasutada elektriliste omaduste ja gaasitundlikkuse mõõtmise aparatuur.

Kiletehnoloogia laboris on

  • töötatud välja uudsed meetodid aatomkihtsadestamise protsesside reaalajaliseks jälgimiseks,
  • arendatud edasi tehnoloogiaid efektiivsete korrosioonivastaste pinnakatete valmistamiseks,
  • võetud kasutusele uudsed meetodid suure dielektrilise läbitavusega dielektrikukilede valmistamiseks nanoelektroonika seadmete jaoks,
  • juurutatud keemilise aurufaassadestamise meetod grafeeni valmistamiseks.
Image
#rahvusvaheline #teadus
graphene based gas sensor

Grafeenil põhinevad gaasisensorid jõuavad pooljuhttööstuse pilootprojekti

#teadus
Skaneeriva elektronmikroskoopia pilt korrodeerunud puidu pinnast peale testi Euroopa Kosmoseagentuuris, kus simuleeriti pikaajalist kokkupuudet madalal orbiidil oleva atomaarse hapnikuga.

Tartu Ülikooli materjaliteadlased uurivad puidu korrosiooni kosmoses

#teadus
FinEstBeAMS kiirekanal_autor Rainer Pärna

Eesti teadlaste ja tehnoloogiaarendajate uurimisvõimalused Lundis MAX IV laboris