Kiletehnoloogia labor

Kiletehnoloogia labor tegeleb õhukeste ja üliõhukeste materjalikihtide (tahkisekilede) valmistamiseks ja uurimiseks sobivate meetodite väljatöötamise ja täiustamisega, nende meetodite rakendamisega ning üliõpilaste koolitamisega selles valdkonnas. Uuritavate materjalide kasutusalad ulatuvad korrosioonivastastest pinnakatetest mikro- ja nanoelektroonikani.

Labori töötajate käsutuses on aparatuur tahkiskilede valmistamiseks elektronkiirega aurustamise, magnetrontolmustamise ja aatomkihtsadestamise meetodil, samuti grafeeni valmistamiseks keemilise aurufaassadestamisega. Kasutada on vahendid tahkisekilede moodustumise jälgimiseks reaalajas. Materjalide omadusi on laboris võimalik uurida röntgendifraktsiooni, röntgenpeegelduse, röntgenfluorestsentsi, elektronmikroskoopia, elektronsond-mikroanalüüsi, spektroskoopilise ellipsomeetria ja teravikmikroskoopia meetoditel. Samuti on kasutada elektriliste omaduste ja gaasitundlikkuse mõõtmise aparatuur.

Kiletehnoloogia laboris on

  • töötatud välja uudsed meetodid aatomkihtsadestamise protsesside reaalajaliseks jälgimiseks,
  • arendatud edasi tehnoloogiaid efektiivsete korrosioonivastaste pinnakatete valmistamiseks,
  • võetud kasutusele uudsed meetodid suure dielektrilise läbitavusega dielektrikukilede valmistamiseks nanoelektroonika seadmete jaoks,
  • juurutatud keemilise aurufaassadestamise meetod grafeeni valmistamiseks.
Image
#teadus #ühiskonnale

Maido Merisalu kaitseb doktoritööd „Nanostructured Coatings for Car and Aerospace Industries“

8. detsembril kell 16.15 kaitseb Maido Merisalu doktoritööd „Nanostructured Coatings for Car and Aerospace Industries“.
#teadus
Loodusfoto (T.Müürsepp)

Kliimateadlane Velle Toll: Eesti võib magada maha viimasegi šansi, kuidas kuumeneval maakeral ellu jääda

#teadus
Üksik puu

Järelvaadatav: "Loodusteadlased kestlikust arengust: mis värvi on tulevik?"